IMOS Vakuum- Reflektoren

In evakuierten Prozessräumen sind besondere Anforderungen an die Werkstoffe gestellt.

Wenn mit Reflexionssensoren Produktions-Prozesse im Vakuum überwacht werden sollen, sind IMOS Vakuum Reflektoren ideal. Diese können von Sensoren bequem von außerhalb des evakuierten Prozessraumes abgetastet werden.

Denn bei herkömmlichen Reflektoren oder Folien aus Kunststoff könnten im Vakuum Stoffspuren ausgasen und damit den hochreinen Produktionsprozess gefährden. So werden zum Beispiel in Anlagen zur Bearbeitung von Silizium die IMOS Reflektoren erfolgreich für die Reflexionssensorik eingesetzt.