Bild eines Mikrochips. Vakuumreflektoren kommen bei der Herstellung dieser zum Einsatz

IMOS Vakuum-Reflektoren

In evakuierten Prozessräumen sind besondere Anforderungen an die Werkstoffe gestellt. Denn die Kunststoffe von herkömmlichen Reflektoren oder Folien könnten im Vakuum Stoffspuren ausgasen und damit den hochreinen Produktionsprozess gefährden.

 

Für diesen Einsatz bietet IMOS Vakuum-Reflektoren an. Diese können durch Sensoren bequem von außerhalb des Vakuum-Prozessraumes abgetastet werden. Sie finden IMOS Vakuum-Reflektoren beispielsweise erfolgreich im Einsatz in Anlagen, die zur Bearbeitung von Silizium dienen. 

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